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ARROWS玉崎小王子晶圓邊緣視覺檢測設(shè)備

可以通過改變電壓暫降發(fā)生后僅0.001秒檢測并備份的設(shè)置，將電壓暫降備份1秒或長達(dá)30秒（可選），從而輕松充電或瞬間提供大電流?！鹬亓枯p、體積小、無噪音、安全由于沒有電池或風(fēng)扇，因此重量輕、體積小、無噪音。

ARROWS玉崎小王子晶圓邊緣視覺檢測設(shè)備

產(chǎn)品型號(hào)：WEIM-6800A
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時(shí)間：2023-12-22
訪問量：263

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ARROWS玉崎小王子晶圓邊緣視覺檢測設(shè)備

這是盒式到盒式自動(dòng)晶圓邊緣檢查機(jī)。每張檢查時(shí)間為 10 秒，節(jié)拍時(shí)間為 30 秒，實(shí)現(xiàn)了高吞吐量。機(jī)器人從25片晶圓存儲(chǔ)盒中一張一張取出晶圓，進(jìn)行自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)、檢查，然后將其存儲(chǔ)在晶圓盒中。易于操作。

可以自動(dòng)檢查劃痕、異物、缺口和裂紋等缺陷。

我們在每張 30 秒內(nèi)（包括運(yùn)輸時(shí)間）進(jìn)行高速檢查。

這是一款增加了新功能、更容易使用的高精度檢查機(jī)。

緊湊且省電的設(shè)計(jì)。交流100V8A

外形尺寸 w1200×d900×h1600mm 重量 160kg

只需放置好晶圓盒并按下操作按鈕，機(jī)器人就會(huì)將晶圓一張一張取出并輸送至檢測站。圖像對(duì)準(zhǔn)后，晶圓的外邊緣和三個(gè)頂面和底面同時(shí)被拍照并檢查是否有劃痕、異物、裂紋和缺口等缺陷，然后返回到晶圓盒中。

通過吸附在晶圓背面進(jìn)行檢查，相機(jī)識(shí)別凹口/定向平面并對(duì)其進(jìn)行最佳控制。

?特點(diǎn)?

1. 可以同時(shí)進(jìn)行三個(gè)邊緣成像、整個(gè)晶圓周邊成像以及缺陷檢查。

2. 三光學(xué)系統(tǒng)允許使用一臺(tái)線相機(jī)檢查三個(gè)表面。

3. 集成照明為邊緣檢查創(chuàng)造了理想的照明。

4. 可以進(jìn)行包括定向平面/缺口在內(nèi)的外觀檢查。（僅檢查凹口的斜面。）

5. 高性能，測量分辨率為10μm，檢測缺陷尺寸為20μm，通過/失敗判斷缺陷為50μm。

?功能?

1. 自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)：利用圖像自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)晶圓中心和檢查中心。

2. 三面獨(dú)立設(shè)置：可進(jìn)行檢驗(yàn)條件配方和照明設(shè)置。

3. 復(fù)檢功能：可對(duì)判定為NG的晶圓進(jìn)行目視復(fù)檢。

4. 顯示更改功能：通過放大和反轉(zhuǎn)功能，現(xiàn)在可以更輕松地查看原始圖像。

5. 大的污垢和標(biāo)記可以與缺陷分開。檢驗(yàn)點(diǎn)

同時(shí)拍攝晶片的邊緣表面A、頂表面B和底表面C的圖像。三光學(xué)系統(tǒng)允許從兩側(cè)檢查斜面，從而可以跨邊界檢查缺陷。

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