ULVAC愛(ài)發(fā)科 日本 精品 進(jìn)口 真空計

皮拉尼真空計可測量從大氣壓到5×10 _-2
Pa的寬范圍壓力。此外，該真空計去除了傳統控制器的操作和顯示部分，將其縮小到最少的必要功能，從而可以“降低成本"和“節省空間"。
[特點(diǎn)] -廣域測量：可以測量
從大氣壓到5 x 10 _-2 Pa的廣域。
- 節省布線(xiàn)：集成傳感器和控制器可減少布線(xiàn)、空間和功耗。
?提高可視性：配備LED，可以檢查異常情況。
?可進(jìn)行一鍵式調整：可通過(guò)一鍵式進(jìn)行氣壓調整和零點(diǎn)調整。
?維護：探頭更換方便。
- 燈絲材料采用耐腐蝕性強的鉑金。
?測量值輸出信號：壓力為標準配備，日志輸出為DC0至10V。
?提高耐沖擊性：采用高耐沖擊性的結構設計。
?控制輸出信號：可輸出2個(gè)設定點(diǎn)。
- 兼容標準：符合CE標準。
[應用] -
用于太陽(yáng)能電池、FPD、半導體和電子元件等各種設備的低真空區域的過(guò)程控制。
?用于熔爐等各種工業(yè)設備的低真空區域的過(guò)程控制。
?用于在線(xiàn)型、單晶圓型等具有多個(gè)工藝室的各種制造設備的低真空區域的工藝控制。