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產(chǎn)品分類(lèi)
Cassification
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產(chǎn)品展示/ Product display
ULVAC愛(ài)發(fā)科 精品 分析/測量 電離真空計可連接不同測量范圍的探頭：多離子計允許根據應用選擇探頭。緊湊：明顯小于傳統產(chǎn)品（控制器體積減少 56%），提高可用性：可通過(guò) PC/智能手機連接進(jìn)行設定點(diǎn)設置、狀態(tài)確認等產(chǎn)品陣容豐富：除了模擬輸出規格（ST200-A）和串行通信規格（ST200-R）外，還將增加EtherCAT規格（ST200-E）。
產(chǎn)品型號：G-TRAN SW1 SP1廠(chǎng)商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商更新時(shí)間：2024-04-27訪(fǎng) 問(wèn) 量：106
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ULVAC愛(ài)發(fā)科 精品 分析/測量 電離真空計
ULVAC愛(ài)發(fā)科 精品 分析/測量 電離真空計
用于有機EL、觸摸屏等制造設備的極限壓力確認和工序管理。
用于檢查真空爐等各種工業(yè)真空設備的極限壓力。
用于在含有大量碳氫化合物（油基）的大氣中進(jìn)行測量
用于在真空零件加工過(guò)程中殘留有切削油或清洗液的環(huán)境中進(jìn)行測量。
適用于旨在減少更換真空計探頭頻率的真空設備。
*在腐蝕性氣體（鹵素氣體）氣氛中使用時(shí)，請與我們聯(lián)系。
可連接不同測量范圍的探頭：多離子計允許根據應用選擇探頭。
緊湊：明顯小于傳統產(chǎn)品（控制器體積減少 56%），
提高可用性：可通過(guò) PC/智能手機連接進(jìn)行設定點(diǎn)設置、狀態(tài)確認等
產(chǎn)品陣容豐富：除了模擬輸出規格（ST200-A）和串行通信規格（ST200-R）外，還將增加EtherCAT規格（ST200-E）。
三極管型金屬電離真空計：真空計即使在惡劣環(huán)境下也能實(shí)現長(cháng)壽命。
燈絲壽命通知功能：通過(guò)監控燈絲功率，可以提前通知燈絲壽命。
壓力測量范圍廣：可測量大氣壓至高真空范圍（1×10 +5～ 1×10 -5 Pa）（連接選購件SWU10-R時(shí)）
精確的大氣壓力測量：可以檢查腔室開(kāi)口的大氣壓力（當連接可選單元 SAU 時(shí)）
| 模型 | ST200-A | ST200-R | ST200-E（預定發(fā)布） | |
|---|---|---|---|---|
| 規格 | 標準規格 | 串行通訊規格 | EtherCAT規格 | |
| 適應性強的多離子規傳感器 | SWT-16(NW16), SWT-25(NW25) | |||
| 可連接的傳感器 | 多離子壓力傳感器：1 件 皮拉尼壓力計 SWU10-R：1 件（可選） 大氣壓力傳感器 SAU：1 件（可選） | |||
| 重復性（N 2） | ST200單模：±2% | |||
| 采樣時(shí)間 | 60ms 5次移動(dòng)平均處理 | |||
| 測量值輸出 | 輸出電壓 DC 0 至 10V LOG 輸出 0.75V/1 位 壓力轉換公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^ | |||
| 更新時(shí)間 | 60毫秒 | |||
| 控制輸入信號 | FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF 采用集電極開(kāi)路輸入、負邏輯操作 | - | - | |
| 控制輸出信號 | 傳感器錯誤、設定值 1/2/3、發(fā)射有效、 燈絲功率監控 額定值：最大24V 、最大50mA 、飽和電壓 1V | - | - | |
| 串行通訊規格 | - | RS232C/RS-485 | EtherCAT | |
| LED表示 | POWER/ERROR：電源、錯誤 LED（閃爍狀態(tài)根據每種模式而變化） | |||
| 發(fā)射電流 | 2mA（1×10 -2 Pa以下）、10μA（1×10 -2 Pa以上） | |||
| 脫氣 | 電子轟擊法，發(fā)射電流2mA，柵極電壓約330V | |||
| 傳感器耐壓 | 2×10 + 5Pa（絕對壓力） * 必須單獨考慮法蘭、卡箍等的耐壓性能。 | |||
| 傳感器內容積 | 17厘米3（SWT-16）、19厘米3（SWT-25） | |||
| 工作溫度限制 | 10～50℃ | |||
| 工作濕度范圍 | 15 至 80%（無(wú)冷凝） | |||
| 保管溫度 | -20～65℃（不通電時(shí)不結露） | |||
| IP保護等級 | IP30 | |||
| 電源電壓 | DC20~28V（紋波、噪聲1%以下） 8W以下 | |||
| 輸入/輸出連接器 | D-sub15針（M2.6螺絲） | |||
| 質(zhì)量 | 控制器：約 280g 測頭（SWT-16、SWT-25）：80g | |||
| 外形尺寸 寬×深×高 | 69mm×63mm×90mm（控制器部分） | |||
| 兼容標準 | 這 | |||
| 選項 | 多離子計傳感器 | SWT-16 (NW16)、SWT-25 (NW25) 材質(zhì)： 燈絲：Ir/Y 2 O 3涂層 其他：PtC-Mo、SUS304、W、Kovar 玻璃、Kovar/Ni 鍍層 | ||
| 皮拉尼壓力計 | SWU10-R *也兼容傳統SPU | |||
| 皮拉尼壓力傳感器 | SWP-16(NW16)、SWP-25(NW25)、SWP-R1/8(R1/8)、SWP-P18(Φ18管端)、SWP-P15(Φ15管端)、SWP-CF16(ICF034) 材質(zhì)：燈絲 - Pt、其他 - BS/Ni、電鍍、Ni、焊料 | |||
| 大氣壓力傳感器 | SAU(NW16) 材質(zhì)：SUS316L | |||
| 單元電纜 | GUC-200P（SWU用）：0.5m, 1m, 2m GUC-200A（SAU用）：0.5m, 1m, 2m | |||
| 顯示單元 | 1CH：ISG1 (DC24V電源使用) | |||
| 顯示單元電纜 | SH200至顯示單元電纜 2m、5m、10m、15m、20m、25m、30m、35m、40m | |||
| 連接器 | 輸入/輸出連接器（D-sub15-soket（M2.6mm螺絲）） | |||
| 其他的 | 檢驗報告、一般校準測試報告、JCSS校準證書(shū) | |||
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