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Cassification
半導體器件生產(chǎn)中硅片須經(jīng)嚴格清洗。微量污染也會(huì )導致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染雜質(zhì),包括有機物和無(wú)機物。這些雜質(zhì)有的以原子狀態(tài)或離子狀態(tài),有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面。有機污染包括光刻膠、有機溶劑殘留物、合成蠟和人接觸器件、工具、器皿帶來(lái)的油脂或纖維。無(wú)機污染包括重金屬金、銅、鐵、鉻等,嚴重影響少數載流子壽命和表面電導;堿金屬如鈉等,引起嚴重漏電;顆粒污染包括硅渣、塵埃、細菌、微生物、有機膠體纖維等,會(huì )導致各種缺陷。清除污染的方法有物理清洗和化學(xué)清洗兩種。
晶圓、鏡片、玻璃、電路板表面檢測用 LED超高亮度光源 PSVLX1-F5016
特點(diǎn): 1. LED冷光源,不會(huì )在照射表面產(chǎn)生高溫。 2. 20000小時(shí)長(cháng)壽命。 3. 采用低功耗高效LED,無(wú)風(fēng)扇自然散熱,適合無(wú)塵車(chē)間使用。 4. 通過(guò)使用可選配件濾鏡,可在黃光和白光之間切換。 規格: 照度 LWD 150mm時(shí), 15萬(wàn)Lux。 光斑大小 LWD 150mm時(shí), 光斑直徑65~80mm可調。 電壓 AC 100~240V。 消耗功率 最大30W。 重量 光源 1.7Kg,電源0.8Kg。 最大尺寸 長(cháng)290mm,寬180mm,高610mm。
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