如何選擇真空計

更新時(shí)間：2024-06-14

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在測量真空度時(shí)，有壓力接近大氣壓的地方，也有壓力達到超高真空的地方，所以不可能僅用一種真空計來(lái)覆蓋。即使考慮到殘余氣體的成分，真空設備中也存在各種氣體。其中，對真空計產(chǎn)生負面影響的典型是油蒸氣、氧氣、水蒸氣等有機蒸氣。在低真空中，空氣常常殘留，但在中真空和高真空中，油蒸氣的比例增加。此外，有許多真空設備主要處理水蒸氣，例如用于冷凍干燥的真空設備。如上所述，真空計的使用條件多種多樣，因此在選擇時(shí)，除了測量壓力范圍和目標氣體外，還需要檢查以下項目。 1.檢查是否可以在您想要測量的壓力范圍內使用，并檢查導致測量極限的原因。 2、真空計是否被可能測量的氣體污染或損壞？ 3. 準確度夠嗎？米大嗎？原則上有什么問(wèn)題嗎？ 4、真空表對氣體狀況有影響嗎？被測氣體是否有可能因反應而熱分解或成分發(fā)生變化？ 5. 可以測量總壓?jiǎn)?？靈敏度是否因氣體類(lèi)型而異？ 6. 連續指令還是電氣指令？可以得到電力輸出嗎？ 7. 響應時(shí)間短嗎？ 8. 穩定性、再現性、可靠性和壽命是否足夠？ 9、安裝、操作、維護、管理是否方便？ 10. 市售產(chǎn)品的可獲得性、獲取難度、價(jià)格等。

真空標準和可追溯性

真空度校準裝置RT-8SV型

日本的真空標準（初級標準）是安裝在日本產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所的光波干涉標準氣壓計（大氣壓～10 ² Pa，不確定度±0.7 Pa）、安裝在國立電子研究所的標準氣壓計技術(shù)。使用安裝的標準 McLeod 真空計（1.3 至 1.3 x 10 ^-2 Pa，不確定度 ± 2%）作為參考。使用標準麥克勞德真空計的校準是對日本真空協(xié)會(huì )要求的亞標準電離真空計燈泡VS-1進(jìn)行的，該校準真空計具有二級標準（工作壓力范圍2.7×10 ^-1 ~1.3× 10 ^-4 Pa，不確定度±3%），是目前的真空計。這通常用作標準并用于校準其他實(shí)用真空計。 JISZ8750中詳細說(shuō)明了校準方法，對于10 ^-2 Pa至10 ^-7 Pa左右的應用，使用VS-1校準的BA真空計可從制造商處購買(mǎi)。如果按照這樣的方式校準靈敏度，則實(shí)際使用的每臺真空計的靈敏度都將達到標準。當建立這樣的系統時(shí)，可追溯性被評估為已建立。

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