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Cassification
腔室單元:腔室、閘閥、濺射源(或蒸發(fā)源或等離子體源)、觀(guān)察口、樣品臺(可選:加熱或冷卻、射頻應用)
排氣裝置:油回轉泵、渦輪分子泵(或油擴散泵+閥門(mén))、支架等。
真空管路:(帶壓力表口、排氣閥、進(jìn)氣口)
真空計1:皮拉尼真空計
真空計2:熱陰極電離真空計(BA真空計)
真空計3:隔膜真空計
電源裝置:濺射用直流電源(或濺射用射頻電源+匹配盒或電阻加熱蒸發(fā)用電源)
氣體引入單元:質(zhì)量流量控制器(或針閥組)
樣品輸送機器人(手動(dòng))
負載鎖和轉移室:(4 或 6 個(gè)室的室安裝表面)蓋子、粗抽閥、排氣閥、底座
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