玉崎【小王子新上市】壓力控制器精品UPC-4CW2-C150H

更新時(shí)間：2024-03-19

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玉崎【小王子新上市】壓力控制器精品UPC-4CW2-C150H

應用

任何壓力都可以通過(guò)電信號設定。

當多個(gè)質(zhì)量流量連接到一條管線(xiàn)時(shí)，壓力會(huì )被調整，以使氣體流量的快速波動(dòng)不會(huì )影響其他質(zhì)量流量。

可用作晶圓背面冷卻的控制器。

用于下游壓力控制。

特征

●工作原理：內置壓力傳感器，保持壓力恒定。

●可通過(guò)電信號設定任意壓力。

●在質(zhì)量流量控制器的上游連接時(shí)，可以進(jìn)行非常穩定的流量控制。

●當多個(gè)質(zhì)量流量控制器連接到一條線(xiàn)路時(shí)，氣體流量的突然波動(dòng)可能會(huì )影響其他質(zhì)量流量控制器。在這種情況下，使用 UPC 系列可以防止這種影響（下游壓力控制型）。

●UPCUS（上游壓力控制型）保持MO-CVD等液源的內部壓力恒定，提高汽化量的穩定性。

●可用作晶片背面冷卻的控制器。還提供帶流量監控器的高溫型（150°C、250°C）。

●可用于從半導體、平板顯示器、太陽(yáng)能電池板等技術(shù)產(chǎn)業(yè)到一般產(chǎn)業(yè)的廣泛領(lǐng)域的壓力控制。

●兼容DeviseNet TM接口（請注明）。符合 RoHS 標準：本產(chǎn)品符合 RoHS 規定并且是環(huán)保的。

規格

模型	UPC （下游壓力控制器）		FCST1050(M) ZFFCST1050(M)ZD(DeviceNet)
壓力范圍	FS 13.3kPa abs.(100Torr)	FS 150/300/500kPa	FS 150/300/500kPa
控制壓力范圍	1 到 100%	1 至 100% *1
控制閥CV值	-	L型：0.0055 / M型：0.011 / H型：0.03
壓力調節系統（自動(dòng)調零后）	1～40%：±0.2%FS 40～100%：±0.5%SP	FS 150kPa abs. [1 至 40%：±0.2%FS，40 至 100%：±0.5%SP] FS 300/500kPa abs. [1 至 20%：±0.1%FS，20 至 100%：±0.5% SP]
供氣壓力范圍	0 至 200kPaG	～897.3kPaG	-
耐壓性	200kPaG	1MPaG
外部泄漏	＜1.0×10 -10 Pa?m3 /sec
使用溫度范圍	0～50℃（系統保證溫度范圍：15～35℃）*2
電源電壓、電流消耗	+15VDC：120mA，-15VDC：120mA DeviceNet：+11 至 25VDC，4.0W
壓力設定/輸出信號	0-10VDC/0-10VDC	0-5VDC/0-5VDC
接液部分材料	SUS316L，鎳鈷合金	SUS316L，鎳鈷合金，FS9
連接配件/尺寸	1.5W-Seal (79.8mm), 1/4 inch UJR (124mm)	1.5W-Seal (79.8mm), 1/4 inch UJR (106, 124mm), 1.125W-Seal (92mm)