深圳倉庫現貨 日本FUJIKIN 壓力 控制器

深圳倉庫現貨 日本FUJIKIN 壓力 控制器

深圳倉庫現貨 日本FUJIKIN 壓力 控制器

應用
任何壓力都可以通過(guò)電信號設定。
當多個(gè)質(zhì)量流量連接到一條管線(xiàn)時(shí)，壓力會(huì )被調整，以使氣體流量的快速波動(dòng)不會(huì )影響其他質(zhì)量流量。
可用作晶圓背面冷卻的控制器。
用于下游壓力控制。

●工作原理：內置壓力傳感器，保持壓力恒定。
●可通過(guò)電信號設定任意壓力。
●在質(zhì)量流量控制器的上游連接時(shí)，可以進(jìn)行非常穩定的流量控制。
●當多個(gè)質(zhì)量流量控制器連接到一條線(xiàn)路時(shí)，氣體流量的突然波動(dòng)可能會(huì )影響其他質(zhì)量流量控制器。在這種情況下，使用 UPC 系列可以防止這種影響（下游壓力控制型）。
●UPCUS（上游壓力控制型）保持MO-CVD等液源的內部壓力恒定，提高汽化量的穩定性。
●可用作晶片背面冷卻的控制器。還提供帶流量監控器的高溫型（150°C、250°C）。
●可用于從半導體、平板顯示器、太陽(yáng)能電池板等技術(shù)產(chǎn)業(yè)到一般產(chǎn)業(yè)的廣泛領(lǐng)域的壓力控制。
●兼容DeviseNet TM接口（請注明）。符合 RoHS 標準：本產(chǎn)品符合 RoHS 規定并且是環(huán)保的。