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產(chǎn)品分類(lèi)
Cassification
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產(chǎn)品展示/ Product display
ULVAC愛(ài)發(fā)科 精品 手動(dòng) 高速光譜 橢偏儀透明或半透明薄膜（氧化膜、氮化膜、抗蝕劑、ITO等）的膜厚、折射率、消光系數的測量
產(chǎn)品型號：UNECS-3000A廠(chǎng)商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商更新時(shí)間：2024-04-27訪(fǎng) 問(wèn) 量：171
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ULVAC愛(ài)發(fā)科 精品 手動(dòng) 高速光譜 橢偏儀
ULVAC愛(ài)發(fā)科 精品 手動(dòng) 高速光譜 橢偏儀
可以進(jìn)行映射測量的自動(dòng)臺型
UNECS系列是一種分光橢偏儀，可以高速、高精度地測量薄膜的厚度和折射率。采用測量方法，實(shí)現高速測量和緊湊化。我們提供廣泛的產(chǎn)品陣容，以適應不同的應用，包括便攜式類(lèi)型、自動(dòng)平臺類(lèi)型和與真空環(huán)境兼容的內置類(lèi)型。
UNECS-1500A/2000A/3000A采用自動(dòng)R-θ平臺和自動(dòng)對焦功能，可快速自動(dòng)測量基材表面內的膜厚分布，并將結果顯示在彩色圖上。
用途
透明或半透明薄膜（氧化膜、氮化膜、抗蝕劑、ITO等）的膜厚、折射率、消光系數的測量
特征
高速測量：
采用快照方式，實(shí)現了最高速度20ms的高速測量。
兼容可見(jiàn)光譜：
波長(cháng)范圍可選擇標準型（530nm~750nm）和可見(jiàn)光譜型（380nm~760nm）。
緊湊的傳感器單元：
光發(fā)射/接收傳感器僅由光學(xué)元件組成，沒(méi)有旋轉機構，并且非常輕便和緊湊，并且不需要定期維護。
豐富的產(chǎn)品陣容：
我們擁有可適應各種應用的產(chǎn)品陣容，包括便攜式類(lèi)型、手動(dòng)/自動(dòng)平臺類(lèi)型、大型基板類(lèi)型以及與大氣/真空環(huán)境兼容的內置類(lèi)型。
| 模型 | 1500A | 2000A | 3000A | |
| 波長(cháng)范圍 | 530~750nm、380~760nm（任選其一） | |||
| 光斑直徑 | φ1mm、φ0.3mm（任選其一） | |||
| 入射角度 | 70o固定 | |||
| 膜厚再現性 | 1σ = 0.1nm | |||
| 膜厚范圍 | 1nm?2μｍ | |||
| 測量時(shí)間 | 受光：20ms ? 3000ms 演算：300ms | |||
| 階段 | φ150mm自動(dòng) | φ200mm自動(dòng) | φ300mm自動(dòng) | |
| 自動(dòng)測量 | 200點(diǎn) | 200點(diǎn) | 2,000點(diǎn) | |
| 控制電腦 | 筆記本型（帶操作/分析軟件） | |||
| 機器構成 | 測量單元、控制器、操作電腦（筆記本型）、使用說(shuō)明書(shū)（CD） | |||
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