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產(chǎn)品展示/ Product display
ULVAC愛(ài)發(fā)科 精品 觸針 輪廓儀透明或半透明薄膜(氧化膜、氮化膜、抗蝕劑、ITO等)的膜厚、折射率、消光系數的測量
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ULVAC愛(ài)發(fā)科 精品 觸針 輪廓儀
ULVAC愛(ài)發(fā)科 精品 觸針 輪廓儀
P-170是在經(jīng)過(guò)驗證的P-17的基礎上增加了自動(dòng)運輸機構的型號。標準配備傳送機器人、預對準器、自動(dòng)X(jué)Y-θ平臺、模式識別功能等,因此只需放置盒即可自動(dòng)測量。
特征
■晶圓自動(dòng)傳送機構
?支持Φ200mm單開(kāi)晶圓盒
?支持雙開(kāi)晶圓盒(選配)
?晶圓傳送機械手、非接觸式預對準器
?支持φ75mm~φ150mm(選配)
■晶圓表面自動(dòng)測量
?高精度自動(dòng)X(jué)Y-采用 θ 平臺
- 測量位置最多可注冊 1,000 個(gè)位置
- 使用模式識別功能校正測量位置
代理品牌:CCS晰寫(xiě)速SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克
SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時(shí)計、NPM日脈
NS日本科學(xué)、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機
SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt寫(xiě)真化學(xué)、NIPPON GEAR日本齒輪
優(yōu)勢品牌:USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龍、ORC歐阿西
SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂詰、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU電色、KKIMAC
S-VANS斯萬(wàn)斯、ORIHARA折原、LUCEO魯機歐、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光學(xué)
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA東亞電波、OKANO岡野、ANRITSU安立計器
IMV艾目微、MITUTOYO三豐、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三榮、HEIDON新東科學(xué)
HEIDON新東、KURABO倉紡、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH愛(ài)光
SURUGA駿河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤
RKC理化、MACOME碼控美、EIWA榮和、EXCEL艾庫斯、YODOGAWA淀川等
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